
장비명(한글) | 전계방출형 주사전자현미경 |
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장비명(영문약어) | FE-SEM |
장비명(영문) | [Core] Field Emission Scanning Electron Microscope |
고정자산번호 | 1205140005 |
모델명 | JSM-7600F |
제조사 | Jeol |
도입년도 | 2012년 |
설치장소 | 과학관 151D |
담당자 | 황명재 |
담당자 연락처 / 이메일 | 02-710-9789 / mjhwang@sookmyung.ac.kr |
최대 100만 배 분해능 0.5~2.0 mm까지의 확대상을 얻을 수 있으며, 전자총에 전압과 전류를 접속하여 빔을 형성시킨 후, 시료 표면에 빔을 조사시켜 발생하는 2차 전자를 신호원으로 이미지를 형성하는 장비이다. 주사전자현미경은 가속 전자를 빛으로 사용하는 현미경으로서 영상을 형성하는 광원의 파장이 광학현미경의 가시광선에 비해 작기 때문에 영상의 분해능이 훨씬 우수하여 시편의 미세조직을 백만 배 이상의 배율로 확대하여 관찰할 수 있다. 광원으로 쓰이는 전자는 음전하를 띠고 있어서 띠고 있어서 전자파나 X-선에 비해 물질과 아주 민감하게 반응하여 강하게 회절되므로 국부적인 원자배열의 흐트러짐까지도 정량적으로 분석할 수 있다.
* 분해능: SEI 1.5 nm at 1 kV, GB 1.0 nm (15kV)
* 배율: x25 - x1,000,000
* 가속전압: 0.1 - 30 kV
* Probe current: 1 pA to 200 nA at 15 kV
* Detector: Upper and lower detectors
* Energy Filter: New r-filter
* 이미지 해상도: 최대 5120 x 3840 pix
교내 : 10,000원
교외 : 40,000원
* 밤11시 이후 ~ 오전 9시 이전 사용 시, 오버나이트 예약에 체크하신 경우, 기타메모에 실제 사용시간을 반드시 기입해 주시기 바랍니다.
( 사용시간을 기입하지 않을 경우, 오버나이트 요금(10시간)이 청구됩니다)
* mount
- 시료를 부착하는 mount는 원칙적으로 각 실험실(자)가 준비해야 함
- 사용량이 매우 적을 경우에는 계단형과 일반 원기둥형 각 1개를 비치하고 있으니 사용 후 원위치 해야 함
- 규격 : 26Φ x 10mm (brass) or 12.5Φ x 10mm (brass)
- 구매처 : Jeol korea (02-3438-7171)
* 유분 또는 수분이 함유되어 있는 샘플은 FE-SEM 측정이 불가합니다.